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日益成熟的半導(dǎo)體工藝技術(shù)和同步高良率目標(biāo)不僅需要改進(jìn)晶圓加工設(shè)備和操作參數(shù)，而且對(duì)潔凈中可能存在的氣態(tài)分子污染物（AMC）的監(jiān)測(cè)和控制也提出了越來(lái)越高的要求。隨著半導(dǎo)體制造工藝接近摩爾極限：納米（nm）蝕刻尺寸和更高密度的晶體管密度，潔凈室...

激光光聲光譜油中氣體在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)涵蓋多項(xiàng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了激光光源對(duì)變壓器絕緣油中故障氣體的檢測(cè)。該系統(tǒng)作為氣相色譜和傳統(tǒng)光聲光譜技術(shù)的升級(jí)換代產(chǎn)品，不僅無(wú)需更換載氣、無(wú)氣體交叉干擾，而且具有準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)。可進(jìn)一步提高主變初始缺陷檢出...

光聲光譜氣體分析儀集高精度、高選擇性、光譜可調(diào)可控的半導(dǎo)體激光光源和寬動(dòng)態(tài)范圍的懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜技術(shù)于一體。零背景噪聲技術(shù)提供了高穩(wěn)定性，無(wú)需連續(xù)幾個(gè)月重復(fù)校準(zhǔn)，成為需要ppb和PPT痕量濃度測(cè)量的工作條件的理想選擇。光聲光譜氣體分析儀工...

一束強(qiáng)度可調(diào)的單色光照射在密封在光聲池中的樣品上，樣品吸收光能并通過(guò)釋放熱能去激發(fā)。釋放的熱能使樣品和周圍介質(zhì)根據(jù)光的調(diào)制頻率周期性地加熱，導(dǎo)致介質(zhì)的周期性壓力波動(dòng)。這種壓力波動(dòng)可以被靈敏的傳聲器或壓電陶瓷傳聲器檢測(cè)到，并通過(guò)放大得到光聲信...

油中氣體分析的概念：電力變壓器是電網(wǎng)中較重要而昂貴的設(shè)備,實(shí)現(xiàn)對(duì)變壓器的在線監(jiān)測(cè)對(duì)電網(wǎng)的安全運(yùn)行至關(guān)重要。多年的實(shí)踐證明,油中溶解氣體分析是診斷油浸式大型電力變壓器潛伏性故障比較有效的方法。近年來(lái)，各種變壓器油中溶解氣體在線監(jiān)測(cè)儀先后投入市...

光氣泄漏檢測(cè)需求：光氣是一種重要的有機(jī)中間體，在農(nóng)藥、醫(yī)藥、工程塑料、聚氨酯材料內(nèi)以及軍事上都有許多用途。光氣劇毒，是一種強(qiáng)刺激、窒息性氣體。吸入光氣引起肺水腫、肺炎等，具有致死危險(xiǎn)。DKG-ONE系列光氣泄漏分析儀基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲...